設置機関 | 物質・材料研究機構 |
---|---|
研究科・学部 | |
設備分類 | デバイス > |
製造元 | エリオニクス |
型番 | ELS-7000 |
設備名称 | 100kV電子ビーム描画装置 |
装置スペック | ・用途:高精細ナノパターニング ・電子銃:ZrO/W 熱電界放射型 ・最大加速電圧:100kV (25kV ステップで可変) ・フィールドつなぎ精度:40nm 以下(500μm フィールド) ・重ね合わせ精度:40nm 以下(500μm フィールド) ・最大試料サイズ:6 inch ・走査クロック周波数:100MHz |
掲載内容に不備がある場合、情報が古い場合などはこちらから修正の報告をお願いします。