設置機関 | 物質・材料研究機構 |
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研究科・学部 | |
設備分類 | デバイス > |
製造元 | エリオニクス (Elionix) |
型番 | ELS-F125 |
設備名称 | 電子ビーム描画装置 [ELS-F125] |
装置スペック | ・用途:高精細ナノパターニング ・電子銃:ZrO/W 熱電界放射型 ・最大加速電圧:125kV (25kV ステップで可変) ・フィールドつなぎ精度:25nm 以下(500μm フィールド) ・重ね合わせ精度:30nm 以下(500μm フィールド) ・最大試料サイズ:6 inch ・走査クロック周波数:100MHz |
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