設置機関 | 物質・材料研究機構 |
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研究科・学部 | |
設備分類 | デバイス > |
製造元 | ハイソル |
型番 | AccuThermo AW610 |
設備名称 | ウエハRTA装置 |
装置スペック | ・用途:小片~φ6インチの急速アニール ・加熱方式:赤外線ランプ加熱方式 ・プロセス温度:800度以下 ・昇温速度:150度/秒以下@Siウエハ、40度/秒以下@SiCサセプタ ・プロセスガス:N2, Ar, Ar+H2(3%), O2 ・最大試料サイズ:φ6inch |
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