設置機関 | 東北大学 |
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研究科・学部 | コアファシリティ統括センター |
設備分類 | 表面分析 > EPMA |
製造元 | 日立 |
型番 | 電子ビーム蛍光X線元素分析装置(EPMA) SU6600 |
設備名称 | 電子ビーム蛍光X線元素分析装置 |
装置スペック | 電子銃 :ZrO/Wショットキー型 分解能:1.2nm 最大加速電圧: 30kV 分析装置:EDX, WDX, EBSD(Oxford Instruments製) |
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