設置機関 | 東北大学 |
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研究科・学部 | コアファシリティ統括センター |
設備分類 | 顕微鏡 > 光学顕微鏡 |
製造元 | キーエンス |
型番 | VK-X1100/1000SP2606 |
設備名称 | 形状解析レーザ顕微鏡 |
装置スペック | レーザー光源:紫色半導体レーザ404nm 倍率:~28800倍 高さ測定表示分解能:0.5nm 幅測定表示分解能:1nm 手動ステージ:70mm×70mm(XY)、72mm(Z) |
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