原子間力顕微鏡
学内学外とも共用
マテリアル先端リサーチインフラ
| 設置機関 | 東海国立大学機構・名古屋大学 |
|---|---|
| 研究科・学部 | 未来材料・システム研究所 |
| 設備分類 | 顕微鏡 > 走査プローブ顕微鏡 |
| 製造元 | Bruker AXS社製 |
| 型番 | Dimension3100 |
| 設備名称 | 原子間力顕微鏡 |
| 装置スペック | スキャン領域：XY方向 約90μm，Z方向 約6μm 試料サイズ：最大150 mmφ－12 mmt 測定モード AFM，MFM，EFM，LFM，表面電位顕微鏡，電流像，リソグラフィー |
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