設置機関 | 東海国立大学機構・岐阜大学 |
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研究科・学部 | |
設備分類 | 顕微鏡 > 走査電子顕微鏡 |
製造元 | 日立ハイテクノロジーズ |
型番 | S-4300(EDX EX-220) |
設備名称 | 走査型電子顕微鏡(FE-SEM) |
装置スペック | S-4300は電界放出型電子銃(FEG)を備えた装置で、加速電圧は0.5 ~ 30 kVの範囲で可変することが可能であり、倍率は20 - 500,000倍、分解能は1.5 nm(15 kV)および ...[詳細] |
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