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試料作製装置群 ・スピンコーター ・スピンコーター ・グローブボックス
学内学外とも共用 マテリアル先端リサーチインフラ

設置機関 公立千歳科学技術大学
研究科・学部
設備分類 デバイス >
製造元 ミカサ 共和理研 美輪製作所 ( Mikasa KYOWARIKEN Miwa Manufacturing)
型番 1HD7 K-359S1 SDB-1T
設備名称 試料作製装置群 ・スピンコーター ・スピンコーター ・グローブボックス
装置スペック グローブボックス ・パージ式ガス置換型 ・サイドボックスのみ真空引ガス置換構造
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