設置機関 | 公立千歳科学技術大学 |
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研究科・学部 | |
設備分類 | デバイス > |
製造元 | ミカサ 共和理研 美輪製作所 ( Mikasa KYOWARIKEN Miwa Manufacturing) |
型番 | 1HD7 K-359S1 SDB-1T |
設備名称 | 試料作製装置群 ・スピンコーター ・スピンコーター ・グローブボックス |
装置スペック | グローブボックス ・パージ式ガス置換型 ・サイドボックスのみ真空引ガス置換構造 |
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