FIB-SEM (Focused Ion beam - Scanning Electron Microscope)
学内学外とも共用
マテリアル先端リサーチインフラ
| 設置機関 | 筑波大学 |
|---|---|
| 研究科・学部 | |
| 設備分類 | 顕微鏡 > 試料加工装置 |
| 製造元 | FEI (FEI) |
| 型番 | Helios NanoLab 600i |
| 設備名称 | FIB-SEM (Focused Ion beam - Scanning Electron Microscope) |
| 装置スペック | 電子とイオンの2種のソースにより、TEM試料作製、イオン照射による直接加工をSEM観察をしながら実施できる。 加速電圧：1-30kV（電子ビーム） 0.5-30kV（Gaイオンビーム） デポジション用ガス：C,Ptガス 分析機能：EDS |
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