電界放出型走査電子顕微鏡 (Field-Emission Scanning Electron Microscope)
学内学外とも共用
マテリアル先端リサーチインフラ
| 設置機関 | 筑波大学 |
|---|---|
| 研究科・学部 | |
| 設備分類 | 顕微鏡 > 走査電子顕微鏡 |
| 製造元 | 日立ハイテク (Hitachi High-Tech) |
| 型番 | SU-8020 |
| 設備名称 | 電界放出型走査電子顕微鏡 (Field-Emission Scanning Electron Microscope) |
| 装置スペック | 二次電子分解能；1.0nm（加速電圧15kV,WD=4mm） 1.3nm（照射電圧1kV,WD=1.5mm） 照射電圧；0.1～30kV 低倍率モード；20～2,000倍（写真倍率） 高倍率モード；100～800,000倍（写真倍率） SE/BSE信号可変方式 |
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