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半導体特性評価システム (Electrical Measurement System)
学内学外とも共用 マテリアル先端リサーチインフラ

設置機関 筑波大学
研究科・学部
設備分類 デバイス >
製造元 キーサイト (Keysight)
型番 B1500A
設備名称 半導体特性評価システム (Electrical Measurement System)
装置スペック IV測定、CV測定、高速パルスドIV測定に対応。 IV測定範囲;0.1fA~1A/0.5μV~200V タイムサンプリング;100μs パルス最小測定幅;100μs(MCSMU) 容量測定 周波数範囲;1kHz~5MHz パルスド測定 波形生成分解能;10ns 測定分解能;5ns
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