設置機関 | 筑波大学 |
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研究科・学部 | |
設備分類 | デバイス > |
製造元 | キーサイト (Keysight) |
型番 | B1500A |
設備名称 | 半導体特性評価システム (Electrical Measurement System) |
装置スペック | IV測定、CV測定、高速パルスドIV測定に対応。 IV測定範囲;0.1fA~1A/0.5μV~200V タイムサンプリング;100μs パルス最小測定幅;100μs(MCSMU) 容量測定 周波数範囲;1kHz~5MHz パルスド測定 波形生成分解能;10ns 測定分解能;5ns |
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