その他分析装置 >
触針式表面段差計 (Stylus Profilemeter)
学内学外とも共用
マテリアル先端リサーチインフラ
| 設置機関 | 筑波大学 |
|---|---|
| 研究科・学部 | |
| 設備分類 | その他分析装置 > |
| 製造元 | KLA-TENCOR (KLA-TENCOR) |
| 型番 | Alpha-Step D-500 |
| 設備名称 | 触針式表面段差計 (Stylus Profilemeter) |
| 装置スペック | 測定長さ; 30 mm サンプルステージ直径; 140 mm サンプル厚さ(最大); 20 mm 垂直測定レンジ（最大）；1200 μm 垂直測定分解能；0.038 nm (2.5 μm Range) 観察倍率；×1, ×1.3, ×2, ×4 |
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