X線光電子分光装置 (X-ray Photoelectron Spectroscopy (XPS))
学内学外とも共用
マテリアル先端リサーチインフラ
| 設置機関 | 筑波大学 |
|---|---|
| 研究科・学部 | |
| 設備分類 | 表面分析 > XPS |
| 製造元 | 日本電子 (JEOL) |
| 型番 | JPS-9010TR |
| 設備名称 | X線光電子分光装置 (X-ray Photoelectron Spectroscopy (XPS)) |
| 装置スペック | Mg / Al ツインアノード X 線銃 単色化 AlKα線（Ag 3d5/2 半値幅：0.65 eV） 静電半球型分光器 試料傾斜機構（0 ～ 90°） 中和電子銃・Ar イオンエッチング銃搭載 試料加熱機構（要相談） |
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