分光エリプソメータ (Ellipsometer)
学内学外とも共用
マテリアル先端リサーチインフラ
| 設置機関 | 筑波大学 |
|---|---|
| 研究科・学部 | |
| 設備分類 | 分光計 > エリプソメータ |
| 製造元 | 堀場製作所 (Horiba) |
| 型番 | UVISEL Plus |
| 設備名称 | 分光エリプソメータ (Ellipsometer) |
| 装置スペック | PEMを利用した位相変調方式により、外光の影響を受けにくい分光エリプソメーター 測定波長：190～2100 nm（波長分解能力：2 nm) スポットサイズ：0.05, 0.1, 1mmφ（垂直入射時)を選択 |
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