デバイス >
極低温プローブステーション (Cryogenic Probe station )
学内学外とも共用
マテリアル先端リサーチインフラ
| 設置機関 | 筑波大学 |
|---|---|
| 研究科・学部 | |
| 設備分類 | デバイス > |
| 製造元 | ナガセテクノエンジニアリング / TNSシステムズ / 東機通商 (Nagase Techno-Engineering Co., Ltd / TNS Systems LLC / Toki Commercial Co., Ltd) |
| 型番 | CMPS-308-4K-6P-20 |
| 設備名称 | 極低温プローブステーション (Cryogenic Probe station ) |
| 装置スペック | ・さまざまな試作デバイスを極低温（～5K）から室温に至る広い温度領域での電気特性を低ノイズ状態で測定可能. ・計測器としてB2912A (2ch SMU、10fA, 210V)を設置. また、他の計測器（持込可）も接続可能. 冷却時間：40K台まで約４時間. ４K台までさらに1時間. 温度安定性：±0.2 K 以下. 電流ノイズ：±50 fA 以下、リーク電流：±50 fA 以下. マニピュレータ：4基. 基板バイアス印加. |
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