デバイス >
終点検出器付き イオンミリング?(Ion Milling System with an end-point detector)
学内学外とも共用
マテリアル先端リサーチインフラ
| 設置機関 | 筑波大学 |
|---|---|
| 研究科・学部 | |
| 設備分類 | デバイス > |
| 製造元 | 伯東 |
| 型番 | 10IBE-EPD_UoT-Y |
| 設備名称 | 終点検出器付き イオンミリング?(Ion Milling System with an end-point detector) |
| 装置スペック | レシピに沿ってイオンミリングを実施。 [ビーム電源] 出力:100 V ~ 1400 V DC 電流範囲: 30 mA ~ 200 mA [終点検出装置] SIMS型四重極質量分析計終点検出装置 |
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