多機能走査型X線光電子分光分析装置（XPS）
学内学外とも共用
マテリアル先端リサーチインフラ
| 設置機関 | 筑波大学 |
|---|---|
| 研究科・学部 | |
| 設備分類 | 表面分析 > XPS |
| 製造元 | アルバック・ファイ |
| 型番 | PHI VersaProbe ４ |
| 設備名称 | 多機能走査型X線光電子分光分析装置（XPS） |
| 装置スペック | Al Kα モノクロX線源（Ag 3d5/2 半値幅：0.50 eV） アルゴンガスクラスターイオン銃（Ar-GCIB） 真空紫外線光源（UPS） 低エネルギー逆光電子分光法（LEIPS） 反射電子エネルギー損失分光法（REELS） |
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