デバイス >
10kV計測システム
学内学外とも共用
マテリアル先端リサーチインフラ
| 設置機関 | 筑波大学 |
|---|---|
| 研究科・学部 | |
| 設備分類 | デバイス > |
| 製造元 | アポロウエーブ/テクトロニクス・ケースレーインスツルメンツ |
| 型番 | α150PW/2290-10, 2636B |
| 設備名称 | 10kV計測システム |
| 装置スペック | 最大10kVの電圧印加によるリーク電流、耐圧測定 200V,1Aの汎用IV測定（SMU:4ch） 4端子デバイス測定 高温ステージ（最高300℃）のマニュアルプローバ（最大φ4インチ。5㎜□、φ2インチの吸着可） |
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