電界放出形走査電子顕微鏡[S4800_FE-SEM] (Field Emission SEM〔S4800/FE-SEM, HITACHI〕)
学内学外とも共用
マテリアル先端リサーチインフラ
| 設置機関 | 産業技術総合研究所 |
|---|---|
| 研究科・学部 | |
| 設備分類 | 顕微鏡 > 走査電子顕微鏡 |
| 製造元 | 日立ハイテクノロジーズ (Hitachi High-Tech) |
| 型番 | S4800 |
| 設備名称 | 電界放出形走査電子顕微鏡[S4800_FE-SEM] (Field Emission SEM〔S4800/FE-SEM, HITACHI〕) |
| 装置スペック | ・型式:S-4800 ・試料サイズ:15～150 mmφ ・電子銃:冷陰極電界放出型電子銃 ・加速電圧:0.5～30 kV ・分解能:1.0 nm(加速電圧15 kV, WD = 4 mm) ・試料ステージ制御:5軸モーター制御 ・可動範囲:X,Y:0～110 mm、Z:1.5～40 mm、R:360°、T:-5～70° ・検出器:2次電子検出器、エネルギー分散型X線検出器（EDX） |
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