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コンタクトマスクアライナー[MJB4] (Contact Mask Aligner〔MJB4〕)
学内学外とも共用
マテリアル先端リサーチインフラ
| 設置機関 | 産業技術総合研究所 |
|---|---|
| 研究科・学部 | |
| 設備分類 | デバイス > |
| 製造元 | ズース (SUSS MicroTec) |
| 型番 | MJB4 |
| 設備名称 | コンタクトマスクアライナー[MJB4] (Contact Mask Aligner〔MJB4〕) |
| 装置スペック | ・型式:MJB4 ・基板サイズ:2インチφ～4インチφ、不定形小片～100mm ・解像度:約800nm (バキュームコンタクト使用時) ・波長:g線(436nm)、h線(405nm)、i線(365nm) ・ 照度 :約25mW/cm2 ・露光モード:プロキシミティ、ソフトコンタクト、 ハードコンタクト、ソフトバキュームコンタクト、 バキュームコンタクト ・露光領域:2.5～5インチ対応マスクホルダー(最大40mm□) 4インチ, 5インチ対応マスクホルダー 最大110mmφ |
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