デバイス >
i線露光装置 (i-Line Stepper)
学内学外とも共用
マテリアル先端リサーチインフラ
| 設置機関 | 産業技術総合研究所 |
|---|---|
| 研究科・学部 | |
| 設備分類 | デバイス > |
| 製造元 | ニコン (Nikon) |
| 型番 | NSR-2205i12D |
| 設備名称 | i線露光装置 (i-Line Stepper) |
| 装置スペック | ・形式:NSR-2205i12D ・試料サイズ:2インチφ～8インチφ 20 mm, 18mm, 15 mm, 10 mm□クーポン ・露光光源:i線(波長365 nm) ・解像度:350 nm以下 ・最大N.A.:0.63 ・縮小倍率:5分の1倍 ・露光範囲:22 mm□(ウェハー上) ・レチクル:6インチ石英ガラス(6025) ・総合アライメント精度:55 nm以下 |
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