クロスセクションポリッシャー(ALD付帯) (Cross Section Polisher)
学内学外とも共用
マテリアル先端リサーチインフラ
| 設置機関 | 産業技術総合研究所 |
|---|---|
| 研究科・学部 | |
| 設備分類 | 顕微鏡 > 試料加工装置 |
| 製造元 | 日立ハイテクノロジーズ (Hitachi High-Tech) |
| 型番 | IM4000 |
| 設備名称 | クロスセクションポリッシャー(ALD付帯) (Cross Section Polisher) |
| 装置スペック | ・型式:IM4000 ・試料サイズ:15mm(W)×15mm(D)×7mm(H) ・イオンガン:冷陰極ペニング型 ・使用ガス:アルゴン ・加速電圧:1～6kV ・放電電圧:1.5kV ・断面ミリングレート:100～300?m/h (加速電圧6kV時) ※材料により異なる ・スイング角度:OFF～±40° |
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