アルゴンミリング装置 (Argon Ion Milling System)
学内学外とも共用
マテリアル先端リサーチインフラ
| 設置機関 | 産業技術総合研究所 |
|---|---|
| 研究科・学部 | |
| 設備分類 | 顕微鏡 > 試料加工装置 |
| 製造元 | 伯東 (Hakuto) |
| 型番 | 3-IBE |
| 設備名称 | アルゴンミリング装置 (Argon Ion Milling System) |
| 装置スペック | 形式：3-IBE カウフマン型DCイオン源 試料サイズ：最大4インチ ミリングガス：Ar ビーム加速電圧：100～1200V イオン入射角：-90°～90°（0°が試料表面に垂直入射） |
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