二次イオン質量分析装置(D-SIMS) (Secondary Ion Mass Spectrometer (D-SIMS))
学内学外とも共用
マテリアル先端リサーチインフラ
| 設置機関 | 産業技術総合研究所 |
|---|---|
| 研究科・学部 | |
| 設備分類 | 表面分析 > SIMS |
| 製造元 | アルバックファイ (ULVAC PHI) |
| 型番 | ADEPT-1010 |
| 設備名称 | 二次イオン質量分析装置(D-SIMS) (Secondary Ion Mass Spectrometer (D-SIMS)) |
| 装置スペック | ・型式:ADEPT-1010 ・試料サイズ:50mmφ ・一次イオン: O2（加速電圧 0.25-8.0kV）、Cs（加速電圧 0.25-11.0kV） ・ビーム径:75μmφ以下 ・二次イオン質量分析計:四重極型 ・分析モード:質量スペクトル測定、ライン分析、デプスプロファイル、二次イオンイメージ像 |
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