デバイス >
ウェハー酸化炉 (Oxidation Furnace)
学内学外とも共用
マテリアル先端リサーチインフラ
| 設置機関 | 産業技術総合研究所 |
|---|---|
| 研究科・学部 | |
| 設備分類 | デバイス > |
| 製造元 | マテルス (MATELS) |
| 型番 | MAT-200KS |
| 設備名称 | ウェハー酸化炉 (Oxidation Furnace) |
| 装置スペック | ・型式:MAT-200KS ・試料サイズ:最大4インチφ×25枚(長さ150 mm) ・ヒーター:カンタルRAC200,220L×3ゾーン ・常用温度:1100 ℃（到達時間:2時間） ・温度分布:1100 ℃±2 ℃(範囲長さ200 mm) ・炉心管:石英、136 mmΦ×長さ1090 mm ・試料室:ドライ、ウェット雰囲気 ・使用ガス:O2, N2, H2O |
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