その他分析装置 >
触針式段差計 (Contact Profiler)
学内学外とも共用
マテリアル先端リサーチインフラ
| 設置機関 | 産業技術総合研究所 |
|---|---|
| 研究科・学部 | |
| 設備分類 | その他分析装置 > |
| 製造元 | KLA テンコール (KLA-Tencor) |
| 型番 | Alpha-Step IQ |
| 設備名称 | 触針式段差計 (Contact Profiler) |
| 装置スペック | ・型式:Alpha-Step IQ ・試料サイズ:4インチ ・測定再現性:1σ?8? ・膜厚測定範囲:400 μm ・走査距離:最大10mm ・走査速度:2～200 μm /sec ・サンプリングレート:50, 100, 200, 500, 1000ポイント /sec ・測定レンジ:20, 400 μm ・針圧設定範囲:1～100 mg |
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