走査プローブ顕微鏡SPM_1[Nanoscope?/Dimension3100] (Scanning Probe Microscope 1 (SPM1, NanoscopeIV/Dimension 3100))
学内学外とも共用
マテリアル先端リサーチインフラ
| 設置機関 | 産業技術総合研究所 |
|---|---|
| 研究科・学部 | |
| 設備分類 | 顕微鏡 > 走査プローブ顕微鏡 |
| 製造元 | デジタルインスツルメンツ (Veeco/Digital Instruments ) |
| 型番 | Nanoscope?/Dimension3100 |
| 設備名称 | 走査プローブ顕微鏡SPM_1[Nanoscope?/Dimension3100] (Scanning Probe Microscope 1 (SPM1, NanoscopeIV/Dimension 3100)) |
| 装置スペック | ・型式:Nanoscope?/Dimension3100（Veeco社製） ・試料サイズ:150 mm以内（面範囲）、12 mm（高さ範囲） ・試料固定:真空チャック ・測定範囲:90 μm×90 μm（面範囲）、6 μm以内（高さ範囲） ・測定精度:最大2%（最大レンジ幅） |
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