| 設置機関 | 産業技術総合研究所 |
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| 研究科・学部 | |
| 設備分類 | 顕微鏡 > 走査プローブ顕微鏡 |
| 製造元 | 島津製作所 (SHIMADZU) |
| 型番 | SPM-9700 |
| 設備名称 | 走査プローブ顕微鏡SPM_2[SPM-9600/9700] (Scanning Probe Microscope 2〔SPM2, SPM-9600/9700〕) |
| 装置スペック | ・型式:SPM-9700 ・試料サイズ:24mmφ×8mm ・試料固定:マグネットによる固定 ・スキャナ走査範囲:125μm×125μm×7μm ・分解能: 0.2nm(水平)、0.01nm(垂直) ・測定モード:ダイナミック、コンタクト、位相、電流、表面電位(KFM) |
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