ナノサーチ顕微鏡SPM_3[SFT-3500] (Scanning Probe Microscope 3〔SPM3, SFT-3500, Nano Search Microscope〕)
学内学外とも共用
マテリアル先端リサーチインフラ
| 設置機関 | 産業技術総合研究所 |
|---|---|
| 研究科・学部 | |
| 設備分類 | 顕微鏡 > 走査プローブ顕微鏡 |
| 製造元 | 島津製作所 (SHIMADZU) |
| 型番 | SFT_3500 |
| 設備名称 | ナノサーチ顕微鏡SPM_3[SFT-3500] (Scanning Probe Microscope 3〔SPM3, SFT-3500, Nano Search Microscope〕) |
| 装置スペック | ・型式:SFT_3500 ・試料サイズ:6インチφ、最大高さ:54.5mm ・ステージストローク:100×100mm LSM部 ・観察視野:2,560μm～21μm ・対物レンズ:5×, 20×, 100× （光学ズーム 1×～6×） SPM部 ・最大走査範囲:30μm（X,Y）、4μm（Z） ・垂直分解能：0.1nm程度 ・検出方式:光てこ方式 ・測定モード:ダイナミックモード（タッピングモード）、コンタクトモード、位相モード、表面電位モード[KFM]、電流モード |
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