ナノプローバ[N-6000SS] (NanoProber〔N-6000SS〕)
学内学外とも共用
マテリアル先端リサーチインフラ
| 設置機関 | 産業技術総合研究所 |
|---|---|
| 研究科・学部 | |
| 設備分類 | 顕微鏡 > 走査プローブ顕微鏡 |
| 製造元 | 日立ハイテクノロジーズ (Hitachi High-Tech) |
| 型番 | N-6000SS |
| 設備名称 | ナノプローバ[N-6000SS] (NanoProber〔N-6000SS〕) |
| 装置スペック | ・型式:N-6000SS ・試料サイズ:15mm×15mm、厚さ1mm以下 ・試料ステージ:加熱・冷却機能付 ・可動範囲:15mm×15mm以上 ・付加機能:EBAC（Electron Beam Absorbed Current） プローブユニット ・ユニット数:6本（探針数） ・駆動方式:ピエゾ素子使用 ・微動範囲:5μm（X,Y軸） ・粗動範囲:5mm（X,Y軸） 電子光学系 ・電子銃:冷陰極電界放出型電子顕微鏡 ・加速電圧:0.5～5kV （※EBACモード:最大30kV） ・イメージシフト:±100μm以上（2kV、WD=15mm） デバイスアナライザ ・型式:B1500（Agilent製） ・モジュール:B1520A MFCMU [1KHz～5MHz CV機能] B1517A HRSMU [100mA/42V 電流/電圧出力、1fA/0.5μV電流/電圧測定分解能] |
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