デバイスパラメータ評価装置 (Semiconductor Device Parameter Analyzer)
学内学外とも共用
マテリアル先端リサーチインフラ
| 設置機関 | 産業技術総合研究所 |
|---|---|
| 研究科・学部 | |
| 設備分類 | その他 > 計測装置 |
| 製造元 | アジレントテクノロジー (Agilent) |
| 型番 | 4156C |
| 設備名称 | デバイスパラメータ評価装置 (Semiconductor Device Parameter Analyzer) |
| 装置スペック | ・型式:4156C ・試料サイズ:150φ×10mm以下 ・最小電流レンジと測定分解能:±10 pAレンジ（電圧 0～±100 V）⇒ 1 fA ・最大電流レンジと測定分解能:±100 mAレンジ（電圧 0～±20 V）⇒ 100 nA ・最小電圧レンジと測定分解能:±2 Vレンジ（電流 0～±100 mA）⇒ 2 ?V ・最大電圧レンジと測定分解能:±100 Vレンジ（電流 0～±20 mA）⇒ 100 ?V |
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