デバイス容量評価装置 (Capacitance-Voltage (C-V) Analyzer)
学内学外とも共用
マテリアル先端リサーチインフラ
| 設置機関 | 産業技術総合研究所 |
|---|---|
| 研究科・学部 | |
| 設備分類 | その他 > 計測装置 |
| 製造元 | ケースレー アジレント (Keithley Agilent) |
| 型番 | Model 82-WIN, 4284A LCRメータ |
| 設備名称 | デバイス容量評価装置 (Capacitance-Voltage (C-V) Analyzer) |
| 装置スペック | ・型式:Model 82-WIN（ケースレー社製）, 4284A LCRメータ（アジレントテクノロジーズ社製） ・試料サイズ:2インチ ・Model 82-WIN: Quasistatic C-Vと高周波C-V（100kHz or 1MHz）の同時特性評価 ・4284A LCRメータ:低周波20Hz～高周波1MHzの主にC-V特性評価、及び 周波数変化時の容量であるC-F特性評価 |
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