分光エリプソメータ (Spectroscopic Ellipsometer)
学内学外とも共用
マテリアル先端リサーチインフラ
| 設置機関 | 産業技術総合研究所 |
|---|---|
| 研究科・学部 | |
| 設備分類 | 分光計 > エリプソメータ |
| 製造元 | 堀場 Jovin-Yvon (Horiba Jovin-Yvon) |
| 型番 | UVISEL-M200-FUV-FGMS |
| 設備名称 | 分光エリプソメータ (Spectroscopic Ellipsometer) |
| 装置スペック | ・型式:UVISEL-M200-FUV-FGMS ・試料サイズ:150mmφ ・ステージ上下調整幅:20mm ・波長範囲:190～826nm（1.5～6.5eV） |
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