X線回折 >
X線回折装置(XRD) (X-ray Diffractometer（XRD）)
学内学外とも共用
マテリアル先端リサーチインフラ
| 設置機関 | 産業技術総合研究所 |
|---|---|
| 研究科・学部 | |
| 設備分類 | X線回折 > |
| 製造元 | リガク (Rigaku) |
| 型番 | Ultima_III |
| 設備名称 | X線回折装置(XRD) (X-ray Diffractometer（XRD）) |
| 装置スペック | ・型式:Ultima_III ・試料サイズ: 100mmφ×9mm ・試料ステージ:水平型(インプレーン測定機構付) ・傾斜多層膜放物面モノクロメータ付 ・チャンネルカットモノクロメータ ・ 受光モノクロメータ ・ 6試料交換装置 ・小角散乱光学系等の利用可 ・ 試料形態:薄膜、粉 ・ソフトウエア：定性分析、定量分析、反射率、極点、逆格子マップ、結晶子サイズ、結晶粒サイズ、結晶化度等 |
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