微小部蛍光X線分析装置 (Microscopic X-Ray Fluorescent Analyzer（XRF）)
学内学外とも共用
マテリアル先端リサーチインフラ
| 設置機関 | 産業技術総合研究所 |
|---|---|
| 研究科・学部 | |
| 設備分類 | 元素分析 > 蛍光X線分析 |
| 製造元 | 日立ハイテクサイエンス (Hitachi High-Tech) |
| 型番 | SEA_5210Ａ |
| 設備名称 | 微小部蛍光X線分析装置 (Microscopic X-Ray Fluorescent Analyzer（XRF）) |
| 装置スペック | ・型式:SEA_5210A ・試料サイズ: 80mm□, 35mmt（上面照射方式） ・分析元素:Na～U ・試料形態:固形、薄膜（液及び粉は要許可） ・コリメータ:0.1, 1, 2.5mmφ ・雰囲気:大気、真空 ・ソフトウエア:定性分析、定量分析（FP法、検量線法）、薄膜分析（膜厚、組成）、元素マッピング |
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