設置機関 | 産業技術総合研究所 |
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研究科・学部 | |
設備分類 | デバイス > |
製造元 | カナメックス (Kanamex) |
型番 | KLO-150CBU |
設備名称 | 高圧ジェットリフトオフ装置 ((High Pressure Jet Lift-off Equipment) |
装置スペック | ・型式:KLO-150CBU ・試料サイズ:小片20mm□~150mmφ ・回転数:0~2000rpm ・NMP処理温度:80℃ |
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