3次元電界放出形走査電子顕微鏡（エリオニクス） (3 Dimensional Field Emission SEM)
学内学外とも共用
マテリアル先端リサーチインフラ
| 設置機関 | 産業技術総合研究所 |
|---|---|
| 研究科・学部 | |
| 設備分類 | 顕微鏡 > 走査電子顕微鏡 |
| 製造元 | エリオニクス (ELIONIX) |
| 型番 | ERA-9200 |
| 設備名称 | 3次元電界放出形走査電子顕微鏡（エリオニクス） (3 Dimensional Field Emission SEM) |
| 装置スペック | ・型式:ERA-9200 ・試料サイズ:4インチφ, 16mmt ・電子銃:ZrO/W熱電界放射型 ・加速電圧:1～30 kV ・リタ―ディング電圧:3kV ・分解能:0.4nm以下（30kV）、0.5nm以下（15kV）、0.7nm以下（1kV） ・可動範囲:30×50mm（X-Y）、1～30mm（Z）、-5～45°（Tilt） ・検出器:2次電子検出器（４本） |
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