設置機関 | 産業技術総合研究所 |
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研究科・学部 | |
設備分類 | その他分析装置 > |
製造元 | 産総研自主開発 (AIST Original) |
型番 | - |
設備名称 | 超伝導蛍光収量X線吸収微細構造分析装置 (SC-XAFS) (X-ray Absorption Fine Structure Spectroscopy with a Superconducting Fluorescence Detector (SC-XAFS)) |
装置スペック | エネルギー分散超伝導検出器を搭載し、母材中の微量軽元素や重い元素のL、M線のX線吸収微細構造測定により、特定の微量元素の原子スケール構造解析を行う。省エネ半導体ドーパント、酸化物、磁性体などの原子配位や電子状態を評価する。 ・蛍光X線エネルギー分解能 : 10 eV ・エネルギー範囲 : 70eV-5000eV(<1keV:超伝導、> 2keV:半導体) ・アレイ検出器素子数 :100 ・光子計数率 : 1 Mcps ・冷却 : 液体ヘリウムを使用せず機械式冷凍機による自動冷却(0.3K) |
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