リアル表面プローブ顕微鏡(RSPM) (Real Surface Probe Microscope (RSPM) )
学内学外とも共用
マテリアル先端リサーチインフラ
| 設置機関 | 産業技術総合研究所 |
|---|---|
| 研究科・学部 | |
| 設備分類 | 顕微鏡 > 走査プローブ顕微鏡 |
| 製造元 | (1) RSPM1: 日本電子、(2) RSPM2: SII（現・日立ハイテクサイエンス） |
| 型番 | (1) RSPM1:JSPM5400、(2) RSPM2:E-SWEEP/S-Image |
| 設備名称 | リアル表面プローブ顕微鏡(RSPM) (Real Surface Probe Microscope (RSPM) ) |
| 装置スペック | (1) RSPM1 原子間力顕微鏡、走査型トンネル顕微鏡 ・型式: JEOL JSPM5400、E-SWEEP他 ・設置室名: 2-1D棟125室 ・測定機能: AM-AFM、FM-AFM、コンタクトモード、STM、KPFM、EFM ・測定環境: 大気中、液中、真空中(10-5 [Torr])、超高真空(10-10 [Torr]、使用機能に制限あり) ・温度範囲: 室温～ 300 ℃(ヒータのみ、制御なし) ・試料サイズ: 最大300 mmウエハー（測定手法によっては寸法（1mm角等）や厚さの制限有） ・液中リアルタイム測定可能（毎秒10フレーム） (2) RSPM2 SIIナノテクノロジ S-ImageおよびE-SWEEP ・測定機能: AM-AFM、コンタクトモード、STM、KFM、Conductive-AFM ・制御装置: 1台のNanonaviをS-ImageおよびE-SWEEPで切り替えて利用 ・測定環境: 大気中、恒湿度雰囲気(20～70%)、液中、真空中(10-5[Torr]) ・温度範囲(E-SWEEP): -100 ℃ ～ 300 ℃(ヒータのみ、制御なし) ・試料サイズ: 最大15 mm角程度 前処理装置等 ・標準試料: 探針評価、スケール、段差等 ・研磨機、プラズマクリーナ、白色干渉計、反射分光膜厚計、化学ドラフト |
この設備情報の修正依頼
掲載内容に不備がある場合、情報が古い場合などはこちらから修正の報告をお願いします。