超伝導蛍光X線検出器付走査型電子顕微鏡 (SC-SEM) (Scanning Electron Microscope with a Superconducting Tunnel Junction X-ray Detector (SC-SEM))
学内学外とも共用
マテリアル先端リサーチインフラ
| 設置機関 | 産業技術総合研究所 |
|---|---|
| 研究科・学部 | |
| 設備分類 | 顕微鏡 > その他 |
| 製造元 | ・検出器：産総研自主開発 ・顕微鏡：日立 (・Detector: AIST Original ・SEM: HITACHI ) |
| 型番 | ・検出器：産総研自主開発 ・顕微鏡：HITACHI S-4500 |
| 設備名称 | 超伝導蛍光X線検出器付走査型電子顕微鏡 (SC-SEM) (Scanning Electron Microscope with a Superconducting Tunnel Junction X-ray Detector (SC-SEM)) |
| 装置スペック | 高感度、高分解能の超伝導検出器を搭載した、蛍光X線検出器付走査型電子顕微鏡。 電子線で試料上を走査する際に放出される蛍光X線を測定することにより、主に軽元素の分布状態を評価できる。 ・蛍光X線エネルギー範囲：100eV-2keV ・エネルギー分解能：～7 eV@400 eV X-ray ・計数率：200 kcps ・走査型電子顕微鏡：HITACHI S-4500 ・加速器電圧範囲：500V-30kV ・最大サンプルサイズ：1インチ ・電子ビームサイズ（最適値）：3.5nm at 30 kV, 25 nm at 1kV ・機械式ヘリウム3冷凍機を用いて簡単に冷却でき、長時間の測定可能 |
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