低損傷走査型分析電子顕微鏡 (Low Damage Field Emission Scanning Electron Microscope)
学内学外とも共用
マテリアル先端リサーチインフラ
| 設置機関 | 東京大学 |
|---|---|
| 研究科・学部 | |
| 設備分類 | 顕微鏡 > 走査電子顕微鏡 |
| 製造元 | 日本電子株式会社 (JEOL Ltd.) |
| 型番 | JSM-7500FA |
| 設備名称 | 低損傷走査型分析電子顕微鏡 (Low Damage Field Emission Scanning Electron Microscope) |
| 装置スペック | □ 主な特長 ジェントルビーム機能を搭載し加速電圧1kVで1.4nmの高分解能 □ 主な仕様 ・二次電子像分解能：1.0nm（15kV）、1.4nm（1kV） ・倍率：×25～×1,000,000 ・加速電圧：0.1kV～30kV |
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