高分解能走査型電子顕微鏡 (Field Emission Scanning Electron Microscope)
学内学外とも共用
マテリアル先端リサーチインフラ
| 設置機関 | 東京大学 |
|---|---|
| 研究科・学部 | |
| 設備分類 | 顕微鏡 > 走査電子顕微鏡 |
| 製造元 | 日本電子株式会社 (JEOL Ltd.) |
| 型番 | JSM-7000F |
| 設備名称 | 高分解能走査型電子顕微鏡 (Field Emission Scanning Electron Microscope) |
| 装置スペック | □ 主な仕様 （１）本体 加速電圧：0.5～30kV 0.5～2.9kVは10Vステップ可変 2.9～30kVは100Vステップ可変 二次電子分解能：1.2nm（加速電圧30kV），3.0nm (加速電圧1kV） 倍率：×10（WD40）～500,000 プローブ電流：10-12～2×10-7A （２）結晶方位測定装置（株式会社TSLソリューションズ） ソフトウェアー OIM Ver7.3.1 （３）高感度反射電子検出器 （４）走査透過電子検出器(STEM) |
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