低真空走査型電子顕微鏡 (Low-vacuum Scannning Electron Microscope)
学内学外とも共用
マテリアル先端リサーチインフラ
| 設置機関 | 東京大学 |
|---|---|
| 研究科・学部 | |
| 設備分類 | 顕微鏡 > 走査電子顕微鏡 |
| 製造元 | 日本電子株式会社 (JEOL Ltd.) |
| 型番 | JSM-6510LA |
| 設備名称 | 低真空走査型電子顕微鏡 (Low-vacuum Scannning Electron Microscope) |
| 装置スペック | □ 主な仕様 （１）本体 加速電圧：0.5～30kV 0.5～3.0kVは100Vステップ可変 3～30kVは1kVステップ可変 二次電子分解能： 高真空モード：3.0nm（加速電圧30kV），15.0nm（加速電圧1kV） 低真空モード：4.0nm（加速電圧30kV） 倍率：×5～300,000 プローブ電流：1pA～1μA 試料室圧力調整範囲：10～270Pa （２）エネルギー分散型X線分析装置（日本電子） 検出器：エクストラミニカップEDS検出器 エネルギー分解能129eV以下 検出可能元素 Be～U 分析時分解能：3.0nm（加速電圧15kV・プローブ電流15nA・WD10mm） （３）反射電子検出器（Si P-N複合型半導体検出器） |
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