高分解能走査型分析電子顕微鏡
学内学外とも共用
マテリアル先端リサーチインフラ
| 設置機関 | 東京大学 |
|---|---|
| 研究科・学部 | |
| 設備分類 | 顕微鏡 > 走査電子顕微鏡 |
| 製造元 | 日本電子株式会社 (JEOL Ltd.) |
| 型番 | JSM-IT800SHL |
| 設備名称 | 高分解能走査型分析電子顕微鏡 |
| 装置スペック | □ 主な仕様 （1）本体 加速電圧：0.01～30 kV 0.5～2.9 kVは10 Vステップ 二次電子分解能：1.0 nm（加速電圧15kV, 通常時） 0.5 nm（加速電圧15kV） 0.7 nm（加速電圧1kV） 0.9 nm（加速電圧500V） 写真倍率：×10 ～ 2,000,000 プローブ電流：数 pA～500 nA（30kV） ：数 pA～100 nA（5kV） （2）エネルギー分散形X線分析装置 検出器：シリコンドリフト検出器 100mm2 エネルギー分解能：129 eV 検出可能元素：Be ～ U （3）シンチレータ反射電子検出器（SBED） （4）上方電子検出器（UED） （5）透過電子検出器（TED） （6）低真空対応 （7）非暴露対応 |
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