クロスセクションポリッシャー(CP) (Cross Section Polisher)
学内学外とも共用
マテリアル先端リサーチインフラ
| 設置機関 | 東京大学 |
|---|---|
| 研究科・学部 | |
| 設備分類 | 顕微鏡 > 試料加工装置 |
| 製造元 | 日本電子株式会社 (JEOL Ltd.) |
| 型番 | JEOL SM-090010JEOL SM-090020 |
| 設備名称 | クロスセクションポリッシャー(CP) (Cross Section Polisher) |
| 装置スペック | □ 主な特徴 表面に対して垂直な断面が制作可能。 □ 主な仕様 イオン加速電圧：2 ～ 6 kV イオンビーム径半値幅：500 μm（加速電圧：6kV, 試料：Si） ミリングスピード：1.3 μm/min以上（加速電圧：6kV, 試料：Si） 最大搭載試料サイズ：11mm×9mm×2mm 試料移動範囲：X軸±3mm Y軸：±3mm 試料角度調節範囲：±5° 使用ガス：アルゴンガス |
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