イオンスライサー (Ion slicer)
学内学外とも共用
マテリアル先端リサーチインフラ
| 設置機関 | 東京大学 |
|---|---|
| 研究科・学部 | |
| 設備分類 | 顕微鏡 > 試料加工装置 |
| 製造元 | 日本電子株式会社 (JEOL Ltd.) |
| 型番 | EM09100IS |
| 設備名称 | イオンスライサー (Ion slicer) |
| 装置スペック | □ 主な仕様 ・イオン加速電圧：1～8 kV ・傾斜角：最大6°(0.1°刻み) ・試料ガス：アルゴン □ 主な特長 冊状試料にイオン研磨処理を行い、薄膜試料を作製 |
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