大気非暴露対応冷却クロスセクションポリッシャ
学内学外とも共用
マテリアル先端リサーチインフラ
| 設置機関 | 東京大学 |
|---|---|
| 研究科・学部 | |
| 設備分類 | 顕微鏡 > 試料加工装置 |
| 製造元 | 日本電子株式会社 (JEOL Ltd.) |
| 型番 | IB-19520CCP |
| 設備名称 | 大気非暴露対応冷却クロスセクションポリッシャ |
| 装置スペック | イオン加速電圧 2～8kV ミリングスピード 500μm/h以上 (加速電圧8kV) 試料スイング機能±30°自動スイング 自動加工開始モード 〇 自動冷却加工開始モード / 自動室温復帰モード 〇 試料ステージ冷却到達温度 －120°C以下 冷却温度設定範囲 －120～0°C 試料冷却－100°C到達時間 60分以内 試料冷却保持時間 8時間以上 |
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