設置機関 | 東京大学 |
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研究科・学部 | |
設備分類 | デバイス > |
製造元 | 東陽テクニカ 他 |
型番 | - |
設備名称 | 環境制御マニュアルプローバステーション (Environmental control manual prober station) |
装置スペック | □ 主な仕様 ・低温プローバ(CRX-4K):6K~350K ・高温プローバ(HCP-401/400):室温~400度 ・半導体パラメータ測定(4200-SCS型) ・誘電体測定(FCE1EEA-200型) ・インピーダンス測定(ソーラートロン1260) □主な用途 ・ 強誘電体分極評価測定 ・インピーダンス周波数測定 ・キャパシタ周波数測定など |
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