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表面分析 > SIMS

超微量元素計測システム (SIMS)
学内学外とも共用 マテリアル先端リサーチインフラ

設置機関 東京大学
研究科・学部
設備分類 表面分析 > SIMS
製造元 カメカ (Cameca)
型番 NanoSIMS 50L
設備名称 超微量元素計測システム (SIMS)
装置スペック □主な用途 微小領域の分析、高空間分解能でのイメージング分析に優れた二次イオン質量分析装置。 □主な用途 ・ 一次イオン源:セシウムおよび酸素 ・最小ビーム径:50nm (セシウム) ・質量分析計:高性能二重収束型質量分析計 ・高感度、高質量分解能での元素・同位体測定が可能。 ・最大7種類の二次イオン像の同時検出ができる
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